• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Stress control in thick AlN/c-Al2O3 templates grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy

Semiconductor Science and Technology. 2021. Vol. 36. No. 3.
Koshelev O., Nechaev D., Brunkov P., Ivanov S., Jmerik V.