• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Influence of sputtering parameters on the main characteristics of ultrathin vanadium nitride films

Journal of Physics: Conference Series. 2018. No. 1124. P. 1-6.
Золотов Ф. И., Divochiy A., Vakhtomin Y., Lubenchenko A., Morozov P., Shurkaeva I., Smirnov K.