• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм

Измерительная техника. 2015. № 11. С. 24-25.
Ефименков Е., Золотаревский Ю. М., Лясковский В. Л., Миньков К. Н., Самойленко А. А.

Представлены результаты разработки экспериментального образца меры с элементами рельефа менее 100 нм для калибровки оптических, ближнепольных и электронных микроскопов на основе металлизированого электронного резиста (покрытия).