?
Исследование устойчивости интерферометра «PhShЛямбда» к воздействию внешних возмущающих факторов при контроле плоских крупногабаритных оптических элементов
Предмет исследования. Интерференционный метод измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей крупногабаритных плоских оптических элементов на базе интерферометра «PhSh-Лямбда» и оценка эффективности алгоритмов обработки интерферограмм в условиях вибрационных и воздушных возмущений. Цель работы. Расширение возможностей интерферометра «PhSh-Лямбда» путём использования его в качестве базового приёмно-передающего блока для широкоапартурного неравноплечного интерферометра Тваймана–Грина при контроле крупногабаритных плоских оптических элементов диаметром до 600 мм. Разработка комплекса мер для уменьшения времени регистрации серии интерферограмм, повышения устойчивости интерферометра к воздействию внешних возмущающих факторов, таких как вибрация и воздушные потоки. Метод. Интерферометрия методом фазовых шагов, реализованных с помощью изменения длины волны лазерного излучения. Для восстановления фазовых изображений из интерферограмм использовались два алгоритма — итерационный и MTIA (Modified Three-step Iterative Algorithm — модифицированный трёхшаговый итерационный алгоритм), работающие с интерферограммами, полученными в условиях вибрации, и с изменениями контраста интерференционных полос. Измерения проводились в условиях различной степени защиты от внешних возмущений. Основные результаты. Показана возможность использования интерферометра «PhSh-Лямбда» в схеме широкоапертурного интерферометра, проведена оценка влияния вибраций и турбулентности окружающей среды на точность измерений. Показано, что использование алгоритма MTIA обеспечивает существенное повышение достоверности фазового восстановления, подтверждена корреляция результатов MTIA с методом восстановления фазового изображения на основе ручной скелетизации интерферограмм. Практическая значимость. Установка на базе интерферометра «PhSh-Лямбда» может применяться при производстве и поверке оптических деталей размерами до 600 мм. Применение алгоритма MTIA существенно улучшило качество фазового восстановления и повысило точность измерений отклонений от плоскостности по параметру PV в три раза, тем самым подтвердив эффективность работы алгоритма при измерениях в условиях реальных производственных возмущений, делая измерения менее чувствительными к вибрациям и температурным колебаниям окружающего воздуха.