?
Газовыделение из механических устройств сверхвысоковакуумного оборудования для сборки ЭОП
С. 126-131.
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., Вараксин А. Г.
In book
Ч. 3: Материалы и технологии. , М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012