• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site

Article

Моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии на этапе аванпроектирования

Нелинейный мир. 2012. Т. 10. № 7. С. 454-459.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.