• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
  • HSE University
  • Publications of HSE
  • Articles
  • Критерий качества в автоматизированном проектировании устройств оборудования иммерсионной литографии

Article

Критерий качества в автоматизированном проектировании устройств оборудования иммерсионной литографии

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.