?
Влияние полевой электронной эмиссии из катода с диэлектрической пленкой на характеристики нормального тлеющего разряда
Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60. № 2. С. 129-134.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2017 Vol. 168 No. 012008 P. 1-5
An approximate analytical expression for the ion current density near the cathode in glow discharge is obtained in the presence of a periodic relief of small amplitude and an insulating oxide film of varying thickness on its surface. It is found that ion focusing at the cathode sections with the minimum film thickness, located on ...
Added: February 17, 2017
Бондаренко Г.Г., Кристя В. И., Мью Т. Х. et al., В кн. : Труды XXXI Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 - 10 июля 2021 г.). : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2021. С. 159-164.
Added: July 22, 2021
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Savichkin D. O., Russian Physics Journal 2017 Vol. 60 No. 2 P. 346-353
A theoretical model of the cathode sheath of a normal glow discharge for the cathode with a thin insulating film is developed. In addition to the ion-electron emission, the field emission of electrons from the metal cathode substrate into the film under the action of the strong electric field generated in the insulator is taken ...
Added: June 8, 2017
Bondarenko G., Фишер М. Р., Мьо Т. Х. et al., Известия высших учебных заведений. Физика 2019 Т. 62 № 1 С. 72-78
Построена модель термополевой электронной эмиссии из металлического катода с тонкой поверхностной
диэлектрической пленкой при его температуре 200–400 К. Получено выражение для эмиссионной эффективности пленки в газовом разряде, равной доле эмиттированных в нее из металлической подложки электронов, выходящих в разрядный объем и увеличивающих эффективный коэффициент ионно-электронной эмиссии катода. Показано, что термополевой механизм эмиссии может оказывать заметное влияние ...
Added: February 23, 2019
Модель термополевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой в тлеющем разряде
Bondarenko G., Кристя В. И., Мьо Т. Х. et al., В кн. : Труды XXV Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2021). Т. 3: Взаимодействие плазмы с поверхностью - физика и технология.: М. : [б.и.], 2021. С. 86-89.
Added: September 21, 2021
Bondarenko G.G., Korzhavyi A. P., Chistyakov G. A., Russian Metallurgy (Metally) 2005 No. 3 P. 269-272
The behaviour of sandwich structures of cold cathodes has been studied in a glow discharge. The differences in the behaviour of the cold-cathode composite structures under the action of a glow discharge in a helium-neon mixture are discussed. ...
Added: November 22, 2013
Bondarenko G., Kristya V. I., Journal of Physics: Conference Series 2008 Vol. 100 No. 062009 P. 1-4
A mathematical model of ion and sputtered atom transport in the vicinity of the target with a periodical surface relief in glow discharge in pure gas is developed. Under the assumption that the relief amplitude is small, analytical expressions for their flows are found by the perturbation method and an equation describing the relief amplitude ...
Added: January 4, 2013
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Savichkin D. O., Vacuum 2018 Vol. 149 P. 114-117
A model of field electron emission from the metal cathode with a thin insulating film under the strong
electric field, generated in the film by ions bombarding its surface in gas discharge, is developed. It takes
into account tunneling of electrons from the electrode metal substrate into the insulating film, their
motion in the film and going out ...
Added: March 12, 2018
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Vacuum 1999 Vol. 53 P. 25-27
A one-dimensional model kinetic equation for the energy distribution function of heavy ions in the cathode sheath of gas mixture glow dischargees is siggested. ...
Added: November 15, 2013
Bondarenko G., Кристя В. И., Мью Т. Х. et al., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2022 № 8 С. 25-29
Создана и описана модель тлеющего газового разряда при наличии на катоде тонкой диэлектриче
ской пленки, в которой учтена, наряду с ионно-электронной эмиссией с поверхности катода, также
термополевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием
сильного электрического поля, возникающего в диэлектрике при протекании разрядного тока. На
пряженность электрического поля в пленке в установившемся режиме разряда может быть ...
Added: June 10, 2022
Bondarenko G.G., Fisher M. R., Myo T. H. et al., Russian Physics Journal 2019 Vol. 62 No. 1 P. 82-89
A model of the thermo-field electron emission from the metal cathode with a thin insulating surface film at
temperatures of 200–400 K is developed. An expression for the film emission efficiency in the gas discharge is
obtained. The efficiency is equal to the fraction of electrons emitted into the film from the metal substrate,
which enter the discharge ...
Added: June 5, 2019
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Tun Y. N., Russian Physics Journal 2016 Vol. 58 No. 9 P. 1313-1320
Special features of sputtering of the cathode with a thin dielectric film of variable thickness in a glow discharge are studied. It is shown that the flux density of atoms sputtered from the cathode is maximal on its sections with minimal film thickness due to focusing of ion flux caused by the violation of the ...
Added: January 21, 2016
Bondarenko G., Кристя В. И., Тун Й. Н., Известия высших учебных заведений. Физика 2015 Т. 58 № 9 С. 99-104
Установлены закономерности процесса распыления катода с тонкой диэлектрической пленкой переменной толщины в тлеющем разряде. Показано, что плотность потока распыленных с катода атомов максимальна на его участках с наименьшей толщиной пленки вследствие существования фокусировки на них ионного потока, которая обусловлена нарушением однородности электрического поля вблизи поверхности катода. В результате происходит увеличение неравномерности толщины пленки с течением ...
Added: January 21, 2016
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Myo T. H. et al., Journal of Surface Investigation 2022 Vol. 16 No. 4 P. 581-585
A model of glow gas discharge in the presence of a thin insulating film on the cathode is formulated.
It takes into account, along with ion-induced secondary electron emission from the cathode surface,
also the thermal-field emission of electrons from the cathode metal substrate into the film under a strong
electric field generated in the insulator when the ...
Added: August 3, 2022
Andreev D. V., Bondarenko G.G., Andreev V. V. et al., Procedia Manufacturing 2019 Vol. 37 P. 279-285
The paper presents model of processes of charge state changing of gate dielectric of MIS structure under conditions of simultaneous influence of radiation and high-field injection of electrons. The model takes into account the generation of positive charge by both radiation and high-field ionization and, besides, it takes into consideration the interaction of injected electrons ...
Added: January 10, 2020
Аитов Р. Д., Бондаренко Г.Г., Кристя В. И., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 1997 № 1 С. 11-14
Теоретически исследовано движение ионов в катодном слое тлеющего разряда вблизи текстурированной поверхности мишени. Показано, что происходит сепарация ионов по энергиям на элементах поверхностного рельефа. ...
Added: December 4, 2013
Бондаренко Г.Г., Бонк О. Г., Кристя В. И. et al., Известия РАН. Серия физическая 2000 Т. 64 № 4 С. 752-755
Рассмотрена задача о диффузионном переносе распыленных атомов в цилиндрической камере с полым катодом в условиях тлеющего разряда. Получено выражение, описывающее распределение обратного потока распыленных атомов на катод вдоль его поверхности. Показано, что в результате переосаждения распыленных атомов может происходить стягивание разряда в область катода, где в начальный момент времени плотность тока была наибольшей. ...
Added: November 29, 2013
Bondarenko G.G., Fisher M. R., Kristya V. I. et al., Приборы и методы измерений 2019 Vol. 10 No. 1 P. 7-13
In this work, a model of the low-current discharge in the argon–mercury mixture at the existence of a thin insulating film on the cathode surface is developed. It takes into account, besides of the ion-electron emission from the cathode surface, the field electron emission from the cathode metal substrate into the film, caused by the ...
Added: March 31, 2019
Андреев Д. В., Bondarenko G., Андреев В. В. et al., Перспективные материалы 2020 № 7 С. 68-74
Added: June 25, 2020
Андреев В. В., Bondarenko G., Столяров А. А. et al., Перспективные материалы 2014 № 12 С. 25-31
Проведена модификация диэлектрических пленок МДП-структур и границ раздела кремний диэлектрик методом инжекционно-термической обработки (ИТО), заключающейся в
сильнополевой инжекции заданной величины заряда в подзатворный диэлектрик с последующим
отжигом структуры. Исследовано влияние режимов ИТО на модификацию МДП-структур.
Показано, что проведение ИТО позволяет снижать дефектность диэлектрических пленок,
повышая надежность МДП-приборов. Установлено, что процессы модификации МДП-структур,
наблюдающиеся при ИТО, во многом идентичны процессам, происходящим при ...
Added: December 10, 2014
Бондаренко Г.Г., Бонк О. Г., Кристя В. И., Физика и химия обработки материалов 2003 № 5 С. 32-34
Рассчитан диффузионный перенос вещества, распыляемого с поверхности мишени в асимметричном разряде переменного тока. Получены выражения для плотностей потоков распыленного вещества, осаждающегося на мишень и подложку. Установлено, что при снижении давления газа происходит уменьшение амплитуды нестационарной составляющей потоков распыленных атомов. ...
Added: November 25, 2013
Bondarenko G.G., Dubinina M. S., Kristya V. I., Technical Physics 2020 Vol. 65 No. 5 P. 826-831
A model of the electric field enhanced thermal (thermo-field) emission of electrons from the metal
cathode substrate into a thin insulating film on its surface is developed. A system of equations for the cathode
surface temperature in the arc discharge and the electric field strength in the film, providing the required discharge
current density, is formulated. It is ...
Added: May 26, 2020
Bondarenko G.G., Fisher M. R., Kristya V. I., Vacuum 2016 Vol. 129 P. 188-191
A model of the low-current (Townsend) discharge in argonemercury mixture in the presence of a thin insulating oxide film on the cathode is developed. It takes into account the cathode ion-electron emission and the electron emission from the cathode metal substrate under the strong electric field generated in the film by the ion surface charge. ...
Added: June 29, 2016
Андреев Д. В., Bondarenko G., Столяров А. А., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2016 № 4 С. 94-99
Исследовано изменение зарядового состояния МДП-структур с двухслойным подзатворным диэлектриком диоксид кремния–фосфорно-силикатное стекло при их модификации в процессе электронного облучения и инжекции электронов в сильных электрических полях. Тонкая пленка стекла образовывалась в результате легирования фосфором термической пленки SiO2, сформированной на поверхности кремниевой пластины. Установлено, что отрицательный заряд, накаплива
ющийся в тонкой пленке фосфорно-силикатного стекла в процессе туннельной ...
Added: August 1, 2016