• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site

Article

Создание калибровочных образцов меры с элементами рельефа менее 100 нм

Измерительная техника. 2015. № 11. С. 24-25.
Ефименков Е., Золотаревский Ю. М., Лясковский В. Л., Миньков К. Н., Самойленко А. А.

The results of development experimental sample of mesure with relief elements size less than 100 nm for calibration of optical, near-field and electron microscopy are presented.