• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Найдены 4 публикации
Сортировка:
по названию
по году
Статья
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. Контроль. Диагностика. 2009. № 1. С. 32-35.

Рассмотрены вопросы виброзащиты объектов в контрольно-диагностическом и технологическом оборудовании. Предложена четырехуровневая система защиты объектов микроэлектроники от вибраций. Для каждого из уровней системы представлены технологические решения виброзащитных устройств.

Добавлено: 28 февраля 2013
Статья
Васин В. А., Степанчиков С. В., Ивашов Е. Н. Контроль. Диагностика. 2012. № 5. С. 71-74.

Рассмотрены устройства для определения положения исполнительных систем оборудования в пространстве, в которых положение и движение определяются непосредственно в абсолютных координатах. Показаны варианты выполнения устройства для определения положения тела в пространстве, отличающиеся друг от друга измеряемыми расстояниями. Предложена контрольно-навигационная система для сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле.

Добавлено: 2 декабря 2012
Статья
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др. Контроль. Диагностика. 2011. № 2. С. 44-48.
Рассмотрены вопросы применения устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в сверхвысоковакуумном контрольно-диагностическом и технологическом оборудовании электронной техники. Представлена методика и результаты расчёта устройств на привносимые загрязнения микрочастицами износа в контролируемой вакуумной среде.
Добавлено: 14 декабря 2012
Статья
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. Контроль. Диагностика. 2011. № 3 (153). С. 63-67.

Разработана математическая модель сложных перемещений исполнительного устройства автоматизированного сверхвысоковакуумного аналитико-технологического оборудования, позволяющая управлять и контролировать равномерность эпитаксиального роста тонких плёнок с целью её повышения. Представлены технологические преимущества ℓ- координатных исполнительных устройств в сравнении с планетарными компоновками и основные пути повышения равномерности получения тонких плёнок в вакууме.

Добавлено: 12 апреля 2012