?
Нанесение тонких пленок методом вакуумного термического испарения
М. :
МИЭМ, 2006.
Лапшинов Б. А.
Содержанием работы является закрепление теоретических знаний, полученных на лекционных занятиях, знакомство с конструкцией и принципами работы на технологической установке нанесения тонких пленок и проведение исследований влияния режимов процесса вакуумного термического испарения на параметры формируемой пленки.
Язык:
русский