?
Цифровое детектирование оптического сигнала в микроскопе ближнего оптического поля
Описана цифровая электронная система выделения оптического сигнала в безапертурном сканиру-
ющем микроскопе ближнего оптического поля (ASNOM), работающем в режиме упругого рассея-
ния света. Сигнал фотодетектора получается путем оптического гомодинирования света, для чего
используется схема интерферометра Майкельсона. В качестве модулирующего воздействия в AS-
NOM используется колебание кантилевера на его резонансной частоте (30–300 кГц), вызывающее
периодическое изменение расстояния игла–поверхность. В качестве полезного сигнала в спектре
фототока используется амплитуда одной (или нескольких) высших гармоник частоты колебаний
иглы. Дополнительная модуляция фазы гомодинирующего света обеспечивается периодическим
изменением длины опорного плеча в схеме Майкельсона, что позволяет достоверно измерять не
только амплитуду ближнепольного оптического сигнала, но и его фазу. Перевод сигнала фототока
детектора в цифровую форму непосредственно на входе детектирующей системы позволил реали-
зовать довольно сложные алгоритмы выделения полезного сигнала. Модульность алгоритмов обра-
ботки информации обеспечивает гибкость в вариантах детектирования сигнала, а также надежность
модификации и настройки отдельных частей алгоритма. Рассмотрены особенности прибора, по-
рождающие ошибки измерения.