• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
Of all publications in the section: 49
Sort:
by name
by year
Article
Бондаренко Г.Г., Иванов Л. И., Кучерявый С. И. Физика и химия обработки материалов. 1986. № 5. С. 24-25.
Added: Dec 11, 2013
Article
Бондаренко Г.Г., Васильевский В.В. Физика и химия обработки материалов. 1989. № 2. С. 137-138.
Added: Jan 27, 2014
Article
Бондаренко Г.Г., Иванов Л. И., Кучерявый С. И. Физика и химия обработки материалов. 1987. № 4. С. 93-95.
Added: Dec 11, 2013
Article
Андреев В. В., Барышев В. Г., Бондаренко Г. Г. и др. Физика и химия обработки материалов. 2001. № 5. С. 43-47.
Added: Jan 28, 2014
Article
Андреев В. В., Бондаренко Г.Г., Столяров А. А. и др. Физика и химия обработки материалов. 2001. № 2. С. 53-58.
Added: Jan 28, 2014
Article
Григорьев Ф. И., Быков Д. В., Лысенко А. П. и др. Физика и химия обработки материалов. 2014. № 2. С. 5-8.
Thin films of positive and negative electron-beam resists and positive photoresists were irradiated with B+ (100 keV) and P+ (150 keV) ions with fluences of 6·1012-1016 cm–2. Effect of a chemical structure of the resist on the efficiency of ion etching has been studied. On the base of IR-spectra analysis, the mechanism of radiation-induced structure formation in positive photoresists is ascertained.
Added: Apr 15, 2014
Article
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Столяров А. А. и др. Физика и химия обработки материалов. 2011. № 5. С. 5-9.
Added: Apr 12, 2012
Article
Бондаренко Г.Г., Васильевский В.В. Физика и химия обработки материалов. 1981. № 1. С. 140-141.
Added: Dec 20, 2013
Article
Бондаренко Г.Г., Иванов Л. И. Физика и химия обработки материалов. 1972. № 5. С. 15-18.
Added: Dec 11, 2013
Article
Морозов Е. В., Демин А. С., Пименов В. Н. и др. Физика и химия обработки материалов. 2017. № 4. С. 5-18.
Added: Aug 10, 2017
Article
Бондаренко Г.Г., Удрис Я. Я., Чихарев Н. В. Физика и химия обработки материалов. 1997. № 6. С. 76-80.
Added: Dec 6, 2013
Article
Бондаренко Г.Г., Удрис Я. Я., Чихарев Н. В. и др. Физика и химия обработки материалов. 1998. № 1. С. 51-54.
Added: Dec 4, 2013
Article
Бондаренко Г.Г., Кучерявый С. И. Физика и химия обработки материалов. 1991. № 1. С. 132-135.
Added: Dec 11, 2013
Article
Масляев С. А., Морозов Е. В., Ромахин П. А. и др. Физика и химия обработки материалов. 2015. № 3. С. 5-17.
Added: May 28, 2015
Article
Бондаренко Г.Г., Лищук Н. В. Физика и химия обработки материалов. 1998. № 4. С. 29-32.
Added: Dec 4, 2013
Article
Бондаренко Г.Г., Васильевский В.В,, Гуськов Г. В. и др. Физика и химия обработки материалов. 1987. № 3. С. 81-82.
Added: Jan 24, 2014
Article
Андреев В. В., Бондаренко Г.Г., Лычагин А. А. и др. Физика и химия обработки материалов. 2006. № 5. С. 19-23.
Added: Nov 25, 2013
Article
Иванов Л. И., Бондаренко Г.Г., Васильевский В.В. Физика и химия обработки материалов. 1984. № 3. С. 9-11.
Added: Dec 20, 2013
Article
Бондаренко Г.Г., Костин К.А. Физика и химия обработки материалов. 1994. № 2. С. 11-13.
Added: Jan 27, 2014
Article
Удрис Я. Я., Акишин А. И., Черник В. Н. и др. Физика и химия обработки материалов. 2001. № 1. С. 52-54.
Added: Jan 28, 2014