• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
  • HSE University
  • Publications of HSE
  • Articles
  • Исследование поперечной проводимости пленок поликристал-лического кремния, полученных методом магнетронного распыления

Article

Исследование поперечной проводимости пленок поликристал-лического кремния, полученных методом магнетронного распыления

Колобов Н. А., Шелегеда Е. В.