• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Автоматизированная система определения положения в пространстве исполнительных устройств современного вакуумно-технологического оборудования

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.

Разработаны устройства для определения положения в пространстве исполнительных устройств современного технологического оборудования, в которых их положение определяются непосредственно в абсолютных координатах. Показаны варианты выполнения устройств для определения положения тела в пространстве, отличающиеся друг от друга измеряемыми расстояниями. Предложена автоматизированная система для вакуумного технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле.