• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Роль волновых явлений в процессе обработки кристаллов алмаза.

Микроэлектроника. 2011. Т. 40. № 6. С. 430-440.
Пинтус С., Карасёв В., Гладченков Е. В.
Рассмотрены проблемы обработки алмаза при создании изделий микроэлектроники. Изложены основные положения новой физической модели волнового возмущения кристаллов алмаза при их механической обработке по специальным алгоритмам. Показана принципиальная возможность реализации волнового процесса при движении обрабатывающего инструмента по поверхности кристалла с точки зрения динамики сплошной изотропной среды. Рассмотрен механизм нанокластерного удаления материала и производство энтропии в условиях квантово-размерного поглощения волновой энергии, излучаемой системой источников. Получено соотношение, определяющее функциональную взаимосвязь между производством энтропии и средней величиной шероховатости обрабатываемой поверхности.